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      集成電路執照行業VOCs廢氣該如何處理

      文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2021-01-05 10:18【

      VOCs處理效率高,能耗低,一次性投資小,運行成本低,輕松達國標;工業廢氣處理設備費用低,廢氣處理工程經驗豐富,可上門勘探現場;正州環保

       

      1、集成電路制造行業廢氣概述。

      集成電路制造行業廢氣的主要成分是揮發性有機VOCs。集成電路芯片生產過程中使用洗滌劑、光刻膠、剝離液、稀釋液等大量有機溶劑,產生一定量的VOCs廢氣,不僅產生大氣污染,還可能產生工廠環境異味,因此需要進行VOCs廢氣管理,實現標準排放。

      1.1集成電路制造行業VOCs的主要來源。

      集成電路制造行業的VOCs來源主要集中化在揮發性有機溶劑的使用、運輸、貯藏上。承載過程包括有機溶劑的原料承載和廢有機溶劑的承載過程、溶劑罐與槽車的接口等有機溶劑揮發。有機溶劑的貯藏主要包括罐的貯藏、化學品桶的貯藏和瓶裝的貯藏。有機溶劑罐的排氣、貯藏中的不密封或意外泄漏也是VOCs的來源。

      1.2集成電路行業VOCs的主要成分。

      集成電路行業有機廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮,這兩種物質達到VOCs的主要成分為80%-100%,其中異丙醇占55%以上,丙酮占5%-34%。

       

      2、集成電路行業VOCs廢氣處理方法。

      集成電路行業廢氣主要成分VOCs廢氣,目前VOCs廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、低溫等離子法、燃燒法、UV光解法。

       

      (1)活性炭吸附法。

      吸附法的主要原理是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅、分子篩等)處理有機廢氣,通過化學鍵力和分子引力充分吸附有害成分,吸附在吸附劑的表面,達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用于大風量、低濃度(≤800mg/m2)、無顆粒、無粘性、常溫低濃度有機廢氣凈化處理。

      活性炭凈化率高(活性炭吸附可達95%以上),實用,操作簡單,投資低。吸附飽和后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費用,更換飽和后的活性炭也需要委托專家進行危險廢棄處理,運行費用高。

       

      (2)低溫等離子法。

      低溫等離子法利用等離子體內部產生很高化學活性的特點,使用高壓放電裝置在放電時產生高能量電子和離子,分離空氣中的氧分子,氧分子吸收能量產生游離態氧離子,有機廢氣污染物與游離氧基團反應,終于轉化為CO2和H2O等物質,達到凈化廢氣的目的。

      該方法適用范圍廣,凈化效率高,設備占地面積小,適用于其他方法難以處理的有機廢氣,但采用高壓放電裝置,含水、含塵、有機廢氣濃度高的密閉空間容易爆炸,存在危險,因此限制了其使用。

      VOCs 

      (3)燃燒法。

      燃燒法只在揮發性有機物在高溫和空氣充足的條件下完全燃燒,分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各種有機廢氣,可分為直接燃燒、熱燃燒和催化燃燒。

      排放濃度在5000mg/m以上的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法,該方法將VOCs廢氣作為燃料燃燒,燃燒溫度一般控制在1100℃,處理效率高,達到95%-99%。

      熱燃法適用于處理濃度為1000-5000mg/m的廢氣,采用熱燃法,廢氣中VOCs濃度低,需要利用其他燃料和助燃氣體,熱燃所需的溫度比直接燃燒低,約為540-820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高,但VOCs廢氣含有S、N等要素,燃燒后產生的廢氣直接排出會造成二次污染。

      熱燃燒和催化燃燒法處理有機廢氣,凈化率高,但投資運營成本較高。廢氣排放點多,分散,集中收集困難。燃燒裝置需要多套且占地面積大。熱燃燒適用于24小時連續運轉、濃度高、穩定的廢氣狀況,不適用于間歇性生產線狀況。催化燃燒的投資和運營費用比熱燃燒低,但凈化效率也比較低,但貴金屬催化劑容易因廢氣中的雜質(硫化物等中毒而失效,更換催化劑的費用也比較高,同時對廢氣進氣條件的控制非常嚴格,催化燃燒室堵塞引起事故。

       

      (4)UV光解法。

      UV光解凈化法利用高能量UV紫外光束分解空氣中的氧分子產生游離氧(即活性氧),由于游離氧攜帶的正負電子不平衡,需要與氧分子結合,產生臭氧,臭氧具有較強的氧化性,臭氧協同有機廢氣、惡臭氣體的光解氧化作用,將有機廢氣、惡臭氣體物質分解轉化為低分子化合物、CO2和H2O。

      UV光解法具有很高處理效率,可達95%以上的適應性強,適應中低濃度、大氣量、不同有機廢氣和惡臭氣體物質的凈化處理產品性能穩定,運行穩定,每天24小時連續工作UV光解法由于采用光解原理,模塊采用隔爆處理,消除了隱患,防火、防爆、防腐蝕性能高,設備性能穩定,特別適用于采油(氣)田、石油化工、制藥等防爆要求高的行業。

       

      以上介紹了集成電路制造行業的廢氣處理方法和技術,實際上集成電路制造行業的廢氣處理需要根據廢氣濃度、產量、廢氣成分、收集方法等進行設計。如果集成電路制造廢氣處理需要凈化處理時,可隨時撥打189-2315-4326電話,咨詢正州環保,提供廢氣處理方案和技術。


      此文關鍵字:VOCs

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